激光干涉儀是一種常用的實驗室儀器,可以用于測量長度、形狀、表面粗糙度等物理量。它基于干涉原理,利用激光源發(fā)出兩個頻率不同的激光束,通過干涉產(chǎn)生干涉條紋來進(jìn)行測量。在激光干涉儀中,激光源會發(fā)出兩個頻率不同的激光束,其中一個激光束為參考光,另一個激光束則被用來測量待測物體的位移或形變。這兩束激光束會經(jīng)過分束器和反射鏡,最終在檢測器上產(chǎn)生干涉信號。
激光干涉儀是在單頻激光干涉儀的基礎(chǔ)上發(fā)展的一種外差式干涉儀。和單頻激光干涉儀一樣,激光干涉儀也是一種以波長作為標(biāo)準(zhǔn)對被測長度進(jìn)行度量的儀器。可以在恒溫,恒濕,防震的計量室內(nèi)檢定量塊,量桿,刻尺和坐標(biāo)測量機等。它既可以對幾十米的大量程進(jìn)行精密測量,也可以對手表零件等微小運動進(jìn)行精密測量,既可以對幾何量如長度、角度.直線度、平行度、平面度、垂直度等進(jìn)行測量,也可以用于特殊場合,諸如半導(dǎo)體光刻技術(shù)的微定位和計算機存儲器上記錄槽間距的測量等等。
為了保證激光干涉儀的正常運行和精確測量結(jié)果,需要進(jìn)行定期的保養(yǎng)和維護(hù)。以下是激光干涉儀的保養(yǎng)技巧:
1、定期清潔:需要定期清潔,以保持其表面的清潔和光學(xué)部件的透明度。在清潔過程中,應(yīng)使用干凈的、柔軟的布或棉簽,避免使用刮刀或尖銳物品,以免刮傷或損壞光學(xué)部件。
2、保持干燥:需要保持干燥,以防止光學(xué)部件受潮或受損。在存放和使用過程中,應(yīng)避免暴露在潮濕的環(huán)境中,并注意防潮、防水。
3、校準(zhǔn):需要定期校準(zhǔn),以保證其測量精度和準(zhǔn)確性。在校準(zhǔn)過程中,應(yīng)按照操作手冊的要求進(jìn)行操作,避免誤操作或操作不當(dāng)。
4、避免過度使用:需要避免過度使用,以防止其部件磨損或損壞。在使用過程中,應(yīng)注意控制使用時間和頻率,并遵守操作手冊中的使用要求。
5、定期維護(hù):需要定期維護(hù),以保證其正常運行和長期使用。在維護(hù)過程中,應(yīng)按照操作手冊的要求進(jìn)行操作,包括更換部件、加油、潤滑等。