通過(guò)對(duì)三維形貌的測(cè)量，能較為全面地評(píng)定表面質(zhì)量的優(yōu)劣，因?yàn)槲⒂^(guān)表面形貌直接影響著零件的技術(shù)性能評(píng)價(jià)，所以表面三維評(píng)定參數(shù)能更全面衡量零件表面質(zhì)量，因此表面三維微觀(guān)形貌的測(cè)量就越來(lái)越重要。而在三維微觀(guān)測(cè)量領(lǐng)域中，特別是在如納米材料、航空航天、半導(dǎo)體等各類(lèi)精密工件表面質(zhì)量高要求的領(lǐng)域中，光學(xué)三維表面形貌儀的測(cè)量精度*高。中圖儀器的SuperView W1光學(xué)三維表面形貌儀價(jià)格實(shí)惠，且測(cè)量精度可以達(dá)到微型范圍內(nèi)重點(diǎn)部位的納米級(jí)粗糙度、輪廓等參數(shù)的測(cè)量。

產(chǎn)品參數(shù)

技術(shù)指標(biāo)

光學(xué)三維表面形貌儀也叫光學(xué)干涉儀，工作原理是光源發(fā)出的光經(jīng)過(guò)擴(kuò)束準(zhǔn)直后經(jīng)分光棱鏡后分成兩束，一束經(jīng)被測(cè)表面反射回來(lái)，另外一束光經(jīng)參考鏡反射，兩束反射光最終匯聚并發(fā)生干涉，顯微鏡將被測(cè)表面的形貌特征轉(zhuǎn)化為干涉條紋信號(hào)，通過(guò)測(cè)量干涉條紋的變化來(lái)測(cè)量表面三維形貌。

3D形貌地圖配合色譜圖，非常直觀(guān)，但橫向測(cè)試范圍，縱向高度尺度也很關(guān)鍵。在超精密加工中，3D AOI（自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)）是對(duì)傳統(tǒng)精密加工上的升級(jí)，彌補(bǔ)了傳統(tǒng) AOI 由于2D成像原理上的一些缺陷，改進(jìn)設(shè)備性能以滿(mǎn)足各大電子廠(chǎng)對(duì)質(zhì)量和產(chǎn)品能得雙重要求。拋開(kāi)光學(xué)三維表面形貌儀價(jià)格實(shí)惠不說(shuō)，基于白光干涉原理而研發(fā)生產(chǎn)的SuperView W1能以非接觸的方式，無(wú)損檢測(cè)精密機(jī)械加工表面，檢測(cè)結(jié)果以3D數(shù)據(jù)地圖的方式顯示，直觀(guān)地展示了表面紋理特征。

如一款旋轉(zhuǎn)拋物面零件，用于微小位移和角度檢測(cè)，其表面具有超光滑、高反、凹面弧形特征，針對(duì)其凹面弧形的檢測(cè)需求，現(xiàn)有的顯微測(cè)量?jī)x器中，原子力顯微鏡和共聚焦顯微鏡，均分別因有損測(cè)量或分辨率不夠的原因而排除，而以白光干涉為原理的SuperView W1光學(xué)三維表面形貌儀，能同時(shí)滿(mǎn)足無(wú)損、超高分辨率、耐高反等條件。

通過(guò)中圖儀器光學(xué)三維表面形貌儀對(duì)工件的三維形貌進(jìn)行測(cè)量，進(jìn)而確認(rèn)加工方法的好壞以及設(shè)計(jì)要求的合理性，最后可以才反過(guò)來(lái)通過(guò)指導(dǎo)加工、優(yōu)化加工工藝，以加工出高質(zhì)量的表面，確保零件使用功能的實(shí)現(xiàn)。